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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:日本HONDA本多石英振動(dòng)體類型清洗機(jī)重慶代理

    • 產(chǎn)品型號(hào):石英振動(dòng)體清洗機(jī)[高頻率]|W-357-1MQG-SKC
    • 產(chǎn)品廠商:HONDA本多
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡(jiǎn)單介紹:
    石英振動(dòng)體清洗機(jī)[高頻率]|W-357-1MQG-SKC
    詳情介紹:

    石英振動(dòng)體類型

    下一代清洗技術(shù),實(shí)現(xiàn)低損害和高清潔度

    2006年,世界上**臺(tái)石英振動(dòng)體超聲清洗裝置投入實(shí)際使用。
    在這種方法中,通過在石英振動(dòng)體上疊加超聲波對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗。
    與批量清洗和流水清洗相比,可以減少化學(xué)品的使用量,由于只有石英玻璃與液體接觸,沒有墊片等橡膠材料與液體接觸,因此能保持較高的清潔度。
    石英振動(dòng)體有不同的形狀,以適應(yīng)不同的用途,能夠根據(jù)需要進(jìn)行有效的清洗,如低損傷清洗、大面積清洗、斜面(邊緣表面)和缺口(晶圓邊緣表面的缺口)的清洗等。

    概述

    特長

    對(duì)具有細(xì)微結(jié)構(gòu)的晶片進(jìn)行低損傷清洗
    ■通過在石英振動(dòng)元件上疊加超聲波對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行清洗。
    將超聲波振動(dòng)從石英振動(dòng)元件通過化學(xué)溶液傳播到半導(dǎo)體晶片上,接觸區(qū)的化學(xué)溶液振動(dòng),加速去除表面污染。
    ■清潔度高,對(duì)半導(dǎo)體晶圓的損害*小。
    與使用橡膠材料(如墊片)的設(shè)備相比,使用石英與化學(xué)溶液接觸,可以確保清潔,而不會(huì)有橡膠溶出。
    ■震蕩器冷卻功能通過用氣體(如氮?dú)猓├鋮s震蕩器,可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)工作,沒有頻率波動(dòng)。
    冷卻還能確保沒有溫度的突然變化,從而延長使用壽命。

    用途

    膠體殘留物的**
    封邊和灰化后的聚合物**
    柵電極極清洗
    CMP后的清洗

    規(guī)格

    ■發(fā)振器

    類型 W-357-1MQG-SKC
    振蕩模式 單頻震蕩
    額定輸出 12W
    標(biāo)稱震蕩頻率 1MHz
    電源輸入 AC100V~240V
    單相50/60Hz 300VA
    外部尺寸
    WxDxHmm
    180×250×100
    (不包括凸出部分,包括橡膠腳)
    質(zhì)量 2.2kg

    ●可變的輸出范圍:0W到12W(振動(dòng)體的允許輸入:當(dāng)使用空氣吹掃冷卻時(shí),連續(xù)10W)。
    ●周圍操作環(huán)境:溫度:15至35℃,濕度:10至85%。
    ●外部驅(qū)動(dòng)觸點(diǎn)額定值:超聲波振蕩控制(控制側(cè))觸點(diǎn)輸入:12 V DC 16 mA min.
    報(bào)警輸出(主單元)觸點(diǎn)容量:24 V DC 0.5 A
    ■附屬電纜:電源線(100V為2米/200V為3米),控制線(5米)x4

    ■振動(dòng)體

    流量 未指明定
    全長 159mm
    卡盤尺寸 φ24mm
    照射面積 24cm2
    質(zhì)量 600g

    ●工作液體溫度范圍:20-50℃。
    ●換能器:PZT
    ●材料:振動(dòng)器:石英玻璃,墊片:硅橡膠,外殼:PCTFE
    ●線長:輸出線1.5米+繼電器線3.5米
    ●冷卻氣體接頭:兼容管(外徑?6)
    *2MHz和3MHz也可根據(jù)特別訂單提供。

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